南宫NG28

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IPH半导体中度严苛系列

用途:

Etch,  Implant,  HDP-CVD,  SACVD,  MOCVD,   PECVD,   LPCVD,    ALD


特点:


IPH系列螺杆真空泵能够在广泛的应用领域提供优良的性能 ,适用于严苛制程 。

它优良的性能源自于转子排气路径和优越的转子型线设计 。

南宫NG28独特型线设计 ,上海 ,台湾 ,制造 。

较之前的版本节能25% ,配置有省电模式 。

带有加热系统避免制程物沉积 。

优化的尺寸 ,即插即用 。


规格型号
产品样本和技术手册

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产品样本和技术手册

产品外观图

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